真空电磁阀（采用直动活塞式结构，零压差即可可靠动作，杜绝负压工况卡滞；真空专用密封组件，低放气率，保障系统真空度，断电可防泵油返流污染。304/316 不锈钢阀体，支持 KF 真空法兰、螺纹、法兰多种接口；线圈规格齐全，可选防爆配置，可接入 PLC 联动控制。）

产品：XYZK系列（直动活塞式 ）

      ZCA系列（-0.1mpa真空）

 适用：主要用于负压及真空管路的自动通断控制，适配各类干燥、惰性气体介质，可和真空泵联动实现系统启停与防返流保护。广泛应用于真空镀膜、真空包装、吸附设备、科研实验、半导体及真空泵机组，支持 PLC 远程控制与联锁保护。

✅ 安装方位（硬性优先）

1. 推荐：阀体水平，线圈竖直朝上（最标准）；阀芯轴线优先垂直，防止阀芯自重偏磨密封面
2. ✅ 水平装：允许，但管路必须做支撑，阀门不能承重
3. ❌ 禁止线圈朝下倒装：油雾、凝液流进线圈，烧毁、漏电；高真空波纹管款倒装容易积液腐蚀波纹管
4. ❌ 严禁装在管路低洼低点，凝油、积水、粉尘沉积在阀腔，关不严、真空抽不上去
5. 阀体箭头方向：腔体 → 阀 → 真空泵，箭头指向泵；反装极易倒灌、保不住真空，高真空工况不可逆损伤密封

✅ 管路与前置条件（真空重中之重）

1. 管路预处理：焊后吹扫，去除焊渣、金属屑、油污；高真空管路需要 IPA（异丙醇）清洗、烘烤除气；内壁优先电解抛光，降低放气率
2. 阀前必须装真空过滤器（60–100 目）；有泵油返流风险，前端加分油气分离器；微小颗粒一划，真空密封直接内漏
3. 支撑要求：阀门不得承受管道自重、热胀冷缩拉力；管路独立支架，减震，振动会慢慢造成法兰微泄漏
4. 推荐配置：阀前后手动隔离阀 + 旁路；检修时不用破坏整套系统真空；重要系统加真空规管，实时监测真空度
5. 连接形式匹配
   • 粗 / 低真空：KF 快卸法兰（氟橡胶真空圈）
   • 高真空：CF 刀口法兰（无氧铜垫圈）、VCR、焊接
   • 高真空严禁普通生料带，碎屑会吸入阀座，永久内漏
6. 紧固方式：法兰螺栓对角、分次均匀拧紧，按厂家扭矩，单边压紧会让法兰面变形、微漏

✅ 密封件选择（按真空等级）

• 低真空（>10⁻¹ Pa）：真空级 FKM
• 中高真空（10⁻¹～10⁻⁴ Pa）：FFKM / PCTFE
• 超高真空（<10⁻⁴ Pa）：无氧铜金属垫圈、波纹管全金属密封，烘烤型

普通橡胶放气量大，真空度上不去

✅ 环境条件

• 环境温度：一般 -10～60℃；如果同时是低温真空（液氮真空），要选长颈隔冷款；靠近加热炉要预留隔热距离，不能直接烘烤线圈
• 湿度：潮湿环境选用 IP65，接线盒密封，防凝露；高真空烘烤工况，线圈要确认耐烘烤温度，很多普通线圈不能高温烘
• 空间：线圈四周预留 ≥50 mm，方便散热、拆装、检漏；防爆工况选用 Ex 真空专用型号

✅ 电气安装

1. 电压严格匹配（DC24V 最常用），建议前端独立熔断器
2. 接线做好绝缘密封；高真空烘烤系统，引线选用真空专用馈通
3. 先导式真空电磁阀：注意先导气源！很多真空先导阀需要一路干净干燥的控制正压气源，不是靠真空驱动，这点很容易踩坑

✅ 投用、检漏、操作条件

1. 先不通真空，空载通电测试启闭，确认动作正常
2. 必须检漏：普通负压可用丙酮 / 肥皂水；高真空必须氦质谱检漏，记录漏率
3. 拆阀前：先破真空、回常压、断电；负压状态拆卸，大气带着杂质高速冲进阀内，划伤密封面
4. 长期停机：建议回常压，或者充干燥氮气保护，不要长期负压静置，密封件长期负压蠕变，漏率上升
5. 如果是可烘烤高真空阀：按规定升温速率烘烤，不能骤热骤冷，波纹管容易疲劳开